1. روش های نوین در تکنولوژی ساخت لایه ها: مقدمه ای بر تکنیک های خلا، پراکنتش ، پلاسماو کاربردهای آن ، چشمه هاو پرتوهای یونی
پدیدآورنده : معتمد اکتسابی، علی
کتابخانه: Central Library of Iran University of Science and Technology (Tehran)
موضوع : لایه های نازک پلاسما )گازهای یونیزه (
رده :
QC
،
718/4
،
/
م
6
ر
9
،
1364